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企業概況
- 主營行業：燒結設備
- 法人代表：馬付根
- 注冊資金：50萬
- 經營模式：生產型
- 經營性質：私營企業
- 地區：上海
聯系方式
- 地址：寶山區滬太路935-2號
- 電話：021-33719603
- 傳真：021-33719602
- 手機：13817293862
- 聯系人： 馬付根
- Email：[email protected]
- http://www.sh-vac.com
友情鏈接
供求信息
供應CVD涂層設備
發布時間：2014-11-29 9:29:11
CVD涂層設備技術參數
一、系統的主要組成及技術指標
系統主要由涂層沉積真空室、外加熱爐、氣路系統、尾氣處理系統等組成，實現加溫后，通入工作氣體，實現樣品的涂層生長等功能。
1.使用機械泵抽氣真空度可達到：1Pa；
2.*高溫度：1100℃；
3.真空室內徑：230mm;
4.恒溫區范圍：600mm×230mm
5.進氣管直徑：10mm
6.氫氣*大流量：30SLM; 氮氣*大流量：100SLM；甲烷*大流量：5SLM
7.浴槽罐的容量：5公斤；水浴加熱*高溫度：100℃；浴槽罐數量：2套
8.氣管加熱溫度：150℃
一、系統的主要組成及技術指標
系統主要由涂層沉積真空室、外加熱爐、氣路系統、尾氣處理系統等組成，實現加溫后，通入工作氣體，實現樣品的涂層生長等功能。
1.使用機械泵抽氣真空度可達到：1Pa；
2.*高溫度：1100℃；
3.真空室內徑：230mm;
4.恒溫區范圍：600mm×230mm
5.進氣管直徑：10mm
6.氫氣*大流量：30SLM; 氮氣*大流量：100SLM；甲烷*大流量：5SLM
7.浴槽罐的容量：5公斤；水浴加熱*高溫度：100℃；浴槽罐數量：2套
8.氣管加熱溫度：150℃
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